CHARON2堆叠平台


CHARON2是一款全新的面向半导体行业应用的XY轴堆叠平台,向后兼容现有模块和选配。CHARON2扩展CHARON的应用范围,提供更高动态性能和允许更大负载,进一步提高精度和重复精度。两倍负载时1g以上的加速度和1 m/s的高速度,并提供精度优于1 µm的绝对位置使CHARON2成为交钥匙总包解决方案,满足全新和先进半导体应用以及设备更长使用寿命的要求。

CHARON2也是ETEL垂直集成的又一个成功案例,该产品以电机、电子系统和控制系统的专有技术为基础并结合了海德汉世界级的位置测量精度的专有技术。丰富的解决方案,满足OEM圆晶定位、工艺或工艺控制的任何要求,从核心的XY平台到多达9轴的完整系统,每轴均为独立控制。  

优化设计的CHARON2产品满足预期的OEM要求,降低EOM集成成本和和减轻产品上市工作量。

特点

  • 总行程:达650 mm x 410 mm
  • 符合ISO 2超净车间要求

主要技术参数

描述X(下端)Y(上端)旋转
位置精度±1 µm±1 µm±3 arcsec
位置稳定性±2 nm±2 nm±0.02 arcsec
双向重复精度±0.4 µm±0.4 µm±2 arcsec
最大负载30 kg

更多信息,参见相应的集成手册

描述性能数据接口图纸3D模型
CHARON2 XY 0475 x 0410根据需要
CHARON2 XYT (DXR+) 0475 x 0410 根据需要