CHARON2堆叠平台


CHARON2是坚固耐用、性能可靠、结构精巧的堆叠平台运控系统,灵巧的模块化设计使其易于扩展。它从一个独立的X轴,到一个多达7个轴的完整运动系统;数据表中展示出的性能数据可通过不同的系统配置获得。前后兼容的硬件设计,丰富的系统配置形式,能够满足客户广泛地生产应用和用例要求。这一灵活的、可扩展的、模块化的可升级平台架构为半导体应用市场和许多其它行业应用提供了理想的入门级产品,例如医疗器械、制药、材料科学等。CHARON2紧随市场新标准不断被发展更新,支持OEM厂商对产品升级和延长其产品生命周期的要求。

凭借数十年如一日的不间断运行和生产现场大批量应用的经验,CHARON2是交钥匙运动解决方案最灵活的切入点,并创造了性价比的新记录。ETEL 系列平台产品以OEM厂商的期待为出发点, 通过降低OEM集成成本、缩短上市时间,不断提高设备的性价比。CHARON2平台架构拥有市场上最齐全的产品类型。

其±1微米级的位置定位精度与出色的双向重复定位精度和高动态性相结合,支持所有技术和工业领域的应用发展。基于这一架构的不同标准化产品,无论用于客户集成还是定制化的解决方案,都能满足客户对高性能的要求。

CHARON2也是ETEL垂直集成的又一个成功案例,它以ETEL在电机、电子和运动控制技术领域拥有的丰富专有技术知识为基础并完美结合了HEIDENHAIN世界一流的位置测量专有技术。

特点

  • 总行程:达650 mm x 410 mm
  • 9种标准平台产品 x  2种控制系统 = 18种可供现货的配置
  • 结构紧凑
  • 有效载荷高达30 kg
  • 可选装的功能包括:导轨粉尘清洁功能(ETEL专利),定制信号,气动管线预制等
  • 符合ISO 1超净车间要求
  • 自带倾斜度校正功能
  • 卡盘内置真空接口
  • 超短的运动和稳定时间

主要技术参数

描述X (下端)Y (上端)旋转精细Z轴
位置精度±1 µm±1 µm±3 arcsec-
位置稳定性±2 nm±2 nm±0.02 arcsec±3 nm
双向重复精度±0.4 µm±0.4 µm±2 arcsec±0.03 µm

更多信息,参见相应的集成手册

描述性能数据
Modular / VHP
接口图纸3D模型
CHARON2 X 0650 / 根据需要
CHARON2 XT 0205 x 0000 / 根据需要
CHARON2 XZ3TM 0205 x 0000 / 根据需要​​​​​​​
CHARON2 XY 0365 x 0355 / 根据需要​​​​​​​
CHARON2 XY 0475 x 0410 / 根据需要​​​​​​​
CHARON2 XYT (DXR+) 0365 x 0355 / 根据需要​​​​​​​
CHARON2 XYT (DXR+) 0475 x 0410  / 根据需要​​​​​​​
CHARON2 XYZ3TM 0365 x 0355 / 根据需要​​​​​​​
CHARON2 XYZ3TM 0475 x 0410  / 根据需要​​​​​​​​​​​​​​