Système multi-axes CHARON2


CHARON2 est un système XY dédié semi-conducteur, rétrocompatible avec les modules et options existants. La conception de CHARON2 étend les cas d'utilisation de CHARON avec une dynamique supérieure et une charge utile plus importante mais aussi avec une amélioration supplémentaire de la précision et de la répétabilité. Avec une accélération de 1 g et une vitesse de 1 m/s à double charge tout en offrant une précision de positionnement absolue inférieure à 1 μm, CHARON2 représente une solution de mouvement clé en main pour les nouvelles applications du semi-conducteur.

CHARON2 représente un nouvel exemple parfait de l'intégration verticale d'ETEL, basée sur la propriété intellectuelle des moteurs, de l'électronique et du savoir-faire de la gestion du mouvement, ainsi que sur la synergie avec HEIDENHAIN en matière de précision de positionnement. Le résultat est une large gamme de solutions servant à tous les besoins de positionnement de wafers, de processus ou de contrôle de processus, et allant d'un noyau XY à un système complet jusqu'à 9 axes, indépendamment contrôlé.

CHARON2 est le résultat des exigences des utilisateurs, qui associé avec d'autres produits optimisés, permet de réduire les coûts d'intégration des OEM et les délais de mise sur le marché.

Charactéristiques

  • Course totale : jusqu'à 650 mm x 410 mm
  • Compatible salle blanche ISO 2

Spécifications principales

DescriptionX (inférieur)Y (supérieur)Theta
Précision absolue±1 µm±1 µm±3 arcsec
Stabilité de position±2 nm±2 nm±0.02 arcsec
Répétabilité bidirectionnelle±0.4 µm±0.4 µm±2 arcsec
Charge maximum30 kg

Demander le Manuel d'intégration pour plus d'informations.

DescriptionFiche techniqueDessin d'interfaceModèle 3D
CHARON2 XY 0475 x 0410Sur demande
CHARON2 XYT (DXR+) 0475 x 0410 Sur demande