Plate-formes multi-axes CHARON2

La plate-forme CHARON2 est construite sur une architecture robuste, fiable et élégamment empilée, conçue avec des principes de modularité et d'évolutivité. Elle part d'un axe linéaire X autonome jusqu'à un système de mouvement complet de 7 axes; les performances des fiches techniques sont disponibles avec différentes configurations électroniques. Sa compatibilité avec les modules et options actuels et futurs permet de couvrir les cas d'utilisation les plus larges. Cette plate-forme flexible, évolutive et modulaire offre un niveau d'entrée à toutes les applications du semi-conducteur et à de nombreux cas d'utilisation d'autres marchés comme par exemple le médical, le pharmaceutique, la science des matériaux et bien d'autres. En constante évolution sur tous les marchés desservis, CHARON2 s'occupe de l'extension de la durée de vie des produits OEM ainsi que les mises à niveau.

Avec des décennies de fonctionnement ininterrompu dans toutes les conditions et des volumes de fabrication importants de cette architecture, CHARON2 représente le point d'entrée le plus flexible pour les solutions de mouvement clé en main et établit un nouveau record de rapport prix-performance. Cette plate-forme découle des exigences des OEM et réduit les coûts d'intégration et les délais de commercialisation ainsi que l'amélioration du rapport prix / performances. La plateforme CHARON2 représente l'offre la plus large du marché.

Sa précision de position de ± 1 µm associée à une excellente répétabilité bidirectionnelle et une dynamique élevée soutiennent le développement d'applications dans tous les domaines technologiques et industriels. De cette plate-forme sont issues des configurations de produits standards, pour une intégration immédiate, et des solutions personnalisées, répondant à des besoins de performances adaptés.

CHARON2 reste un autre exemple parfait d'intégration verticale ETEL, basé sur l'IP propriétaire pour les moteurs, l'électronique et le savoir-faire en matière de contrôle, et la synergie avec HEIDENHAIN en ce qui concerne les codeurs de position.

Caractéristiques

  • Course totale : jusqu'à 650 mm x 410 mm
  • 9 standards disponibles x 2 électroniques = 18 configurations standards
  • Encombrement réduit
  • Charge utile jusqu’à 30 kg
  • Options et fonctionnalités incluses: aspiration de particules de rails (brevet ETEL), signaux personnalisés, lignes pneumatiques, etc.
  • Compatible salle blanche ISO 1
  • Correction du Tip-Tilt avec le module combiné Z3TM
  • Alimentation sous vide intégrée au niveau du chuck
  • Temps de stabilisation après mouvement très court

Spécifications principales

DescriptionX (inférieur)Y (supérieur)ThetaZ fin
Précision absolue±1 µm±1 µm±3 arcsec-
Stabilité de position±2 nm±2 nm±0.02 arcsec±3 nm
Répétabilité bidirectionnelle±0.4 µm±0.4 µm±2 arcsec±0.03 µm

Demander le Manuel d'intégration pour plus d'informations.

DescriptionFiche technique
Modular / VHP
Dessin d'interfaceModèle 3D
CHARON2 X 0650 / Sur demande
CHARON2 XT 0205 x 0000 / Sur demande
CHARON2 XZ3TM 0205 x 0000 / Sur demande​​​​​​​
CHARON2 XY 0365 x 0355 / Sur demande​​​​​​​
CHARON2 XY 0475 x 0410 / Sur demande​​​​​​​
CHARON2 XYT (DXR+) 0365 x 0355 / Sur demande​​​​​​​
CHARON2 XYT (DXR+) 0475 x 0410  / Sur demande​​​​​​​
CHARON2 XYZ3TM 0365 x 0355 / Sur demande​​​​​​​
CHARON2 XYZ3TM 0475 x 0410  / Sur demande​​​​​​​​​​​​​​