CHARON2 patrová platforma


CHARON2 je nový, polovodičově orientovaný XY patrový systém, zpětně kompatibilní s existujícími moduly a opcemi. CHARON2 konstrukčně rozšiřuje použití CHARON směrem k vyšší dynamice a větším užitečným zatížením, s dalším zdokonalením přesnosti a opakovatelnosti. CHARON2 překračuje při dvojnásobném užitečném zatížení zrychlení 1 g a rychlost 1 m/s s absolutní polohovou přesností 1 µm. Představuje klíčové řešení pohybu pro nové nejmodernější polovodičové aplikace s prodlouženou životností.

Co se týče přesnosti polohové zpětné vazby světové třídy je CHARON2 dalším skvělým příkladem vertikální integrace společnosti ETEL na základě vlastních motorů JP, elektroniky a know-how řízení a synergie se společností HEIDENHAIN. Výsledkem je široká nabídka řešení pro potřeby OEM polohování polovodičových disků, souvisejících procesů a jejich řízení, v rozsahu od základního XY až po kompletní systémy s až 9 nezávisle řízenými osami.  

CHARON2 vychází z předpokládaných a přizpůsobených požadavků OEM, které okamžitě splňuje společně s jinými optimalizovanými produkty. Tím snižuje náklady na EOM integraci a zkracuje dobu uvedení na trh.

Charakteristiky

  • Celkový zdvih: až 650 mm x 410 mm
  • Kompatibilní s čistým prostředím ISO 2

Hlavní specifikace

Popis X (dolní) Y (horní) Theta
Polohová přesnost±1 µm±1 µm±3 arcsec
Stabilita polohy±2 nm±2 nm±0.02 arcsec
Obousměrná opakovatelnost±0.4 µm±0.4 µm±2 arcsec
Maximální užitečné zatížení30 kg

Ohledně dalších informací pořádejte o odpovídající Integrační manuál.

PopisKatalogový listVýkres interface 3D model
CHARON2 XY 0475 x 0410Na vyžádání
CHARON2 XYT (DXR+) 0475 x 0410 Na vyžádání