VULCANO2堆叠系统/平台

VULCANO2是一款龙门结构堆叠运控平台,该平台采用ETEL高性能有铁心直线电机,搭配高强度机械轴承和高端光电式编码器组成。
它遵照最新的运控理念,合理设计,通过改善机械结构和装配,显著提高平台整体动态性能。

该平台主要为简化半导体生产设备制造应用而设计生产,但其极高的动态稳定性能同样能满足目标市场上不同客户的需求;事实上,它是同类产品中最优秀的产品,其一流的结构紧凑性设计,最大限度地提升了平台的应用价值。如果您希望在不影响设备重复性和定位精度的基础上提高产能,提高有效负载,降低设备占空比,VULCANO2标准版或定制版 解决方案是您的理想选择。

如果你对平台的动态性能、负荷周期和有效负载的要求不那么严格,但需要平台长时间保持极高的定位精度,VULCANO2也是你的理想的选择:其提供的连续数小时的微米级定位精度,轻松应对您的需求。

该平台适用于但不限于:

  • 圆晶生产控制应用,例如叠片测量,关键尺寸和薄膜测量
  • 后段:特定大型面板/基体上的倒晶封装

特点

  •  结构紧凑
  • 有效载荷高达80 kg
  • 纳米级位置稳定性
  • 超短的运动和稳定时间
  • 优异的位置稳定性和双向重复定位精度
  • 兼容ISO 2级超净车间

主要特点

描述X1-X2 (下端)Y (上端)旋转
行程范围365 mm355 mmInfinite
最高速度1.2 m/s1.2 m/s32 rad/s
最高加速度25 m/s225 m/s2126 rad/s2
位置精度±1 µm±1 µm±3 arcsec
位置稳定性±2 nm±2 nm±0.02 arcsec
双向重复精度±250 nm±250 nm±2 arcsec

更多信息,参见相应的集成手册。 

说明性能数据接口图3D模型
VULCANO2 XY 0365 x 0355请索取
VULCANO2 XYT 0365 x 0355请索取​​​​​​​