Plate-formes multi-axes VULCANO2

VULCANO2 est une architecture en portique basée sur un roulement mécanique couplé à des encodeurs optiques haut de gamme. L'utilisation de moteurs fer ETEL associée à des principes de conception innovants, permettent d'atteindre une dynamique élevée à des niveaux de performances de mouvement nettement améliorés.

Bien que dédiée à la simplification des applications du semi-conducteur, la plate-forme reste adaptée à tous les marchés et besoins diversifiés nécessitant des solutions pour une dynamique plus élevée. Les clients, visant à atteindre un débit ou des cycles de service plus élevé,  ou à servir des charges utiles plus lourdes sans perte de répétabilité et de précision, peuvent adopter en toute confiance un VULCANO2 standard ou une solution personnalisée dérivée.

VULCANO2 représente également une solution parfaite pour tous les cas d'utilisation où la dynamique, les rapports cycliques et les charges utiles ne sont pas si stricts, bien que la précision de positionnement doit être établie pendant de très longues périodes: fournir plusieurs heures de précision de l'rodre du micron n'est plus un rêve mais un solide réalité offerte par cette nouvelle offre d'ETEL.

L'utilisation de cette platforme est adaptée, mais non limitée aux applications suivantes:

  • Processus de contrôle des wafers tels que "Overlay Metrology", "Critical Dimension" et "Thin Film Metrology"
  • Back-end: processus de flip-chip réalisé sur de larges panneaux/substrats.

Caractéristiques

  • Faible encombrement
  • Charge utile jusqu'à 80 kg
  • Stabilité de position dans le nanomètre
  • Haute dynamique
  • Excellente répétabilité bidirectionnelle et stabilité de position
  • Compatibilité salle blanche ISO 2

Spécifications principales

DescriptionX1-X2 (inférieur)Y (supérieur)Theta
Course totale365 mm355 mmInfini
Vitesse maximum1.2 m/s1.2 m/s32 rad/s
Vitesse maximum25 m/s225 m/s2126 rad/s2
Précision absolue±1 µm±1 µm±3 arcsec
Stabilité de position±2 nm±2 nm±0.02 arcsec
Répétabilité bidirectionnelle±250 nm±250 nm±2 arcsec

Demander le Manuel d'intégration pour plus d'informations. 

DescriptionFiche techniqueDessin d'interfaceModèle 3D
VULCANO2 XY 0365 x 0355Sur demande
VULCANO2 XYT 0365 x 0355Sur demande​​​​​​​