Sistema Plataforma VULCANO2

VULCANO2 es una arquitectura gantry de ejes apilados basada en rodamientos mecánicos acoplados a encoders ópticos de alta gama. El uso de los renombrados motores ETEL de núcleo de hierro, junto a innovadores principios de diseño, permite alcanzar elevadas dinámicas con niveles significativamente mejorados de prestaciones geométricas y de movimiento. 

Con el foco puesto en simplificar las aplicaciones de semiconductores, la plataforma se ajusta a todos los diferentes mercados y necesidades que requieren soluciones para dinámicas elevadas; de hecho, incluso el mejor footprint de su clase se distingue por maximizar su propuesta de valor del costo total de propiedad. Clientes que aspiran a conseguir rendimientos y ciclos de trabajo más elevados, o servir mayores cargas útiles sin pérdida de de repetitividad o de precisión, pueden adoptar con toda confianza un VULCANO2 estándar o una solución customizada derivada de él.

VULCANO2 representa también una solución perfecta para todos los casos de uso en los que la dinámica, los ciclos de trabajo y las cargas útiles no son tan restricitivos, pero sin embargo la precisión de posicionamiento debe mantenerse por periodos de tiempo muy largos: suministrar varias horas de precisión de navegación de nivel u ya no es ningún sueño, sino una sólida realidad con esta nuevo oferta de ETEL.

El uso de esta plataforma es apropiado, entre otros, para:

  • Aplicaciones de Control de Proceso de Obleas tales como Metrología de Recubrimiento de Capa, Dimensiones Críticas y Metrología de Lámina Delgada
  • Back-end: procesos de flip-chip específicos sobre grandes paneles/sustratos

Características

  • Diseño compacto
  • Carga útil hasta 80 kg
  • Estabilidad de posición nanométrica
  • Tiempos de desplazamiento y estabilización cortos
  • Repetitividad bidireccional y estabilidad de posición excelentes
  • Compatibilidad con sala limpia ISO 2

Especificaciones

DescripciónX1-X2 (inferior)Y (superior)Theta
Recorrido365 mm355 mmInfinite
Velocidad máxima1.2 m/s1.2 m/s32 rad/s
Aceleración máxima25 m/s225 m/s2126 rad/s2
Precisión de posicionamiento±1 µm±1 µm±3 arcsec
Estabilidad de posición±2 nm±2 nm±0.02 arcsec
Repetitividad bidireccional±250 nm±250 nm±2 arcsec

 Pida el Manual de Integración correspondiente para más información.

DescripciónHoja de datosPlano dimensionalModelo 3D
VULCANO2 XY 0365 x 0355Bajo pedido
VULCANO2 XYT 0365 x 0355Bajo pedido​​​​​​​