VULCANO2 Gestapelte Plattformen

VULCANO2 ist ein Portalaufbau mit gestapelten Achsen, basierend auf mechanischen Lagern, und gekoppelt mit optischen High-End-Messgeräten. Die Verwendung von renommierten eisenbehafteten ETEL Motoren, in Verbindung mit innovativen Konstruktionsprinzipien ermöglicht das Erreichen hoher Dynamik bei deutlich verbesserten Geometrie- und Bewegungseigenschaften.

Mit Schwerpunkt auf die Erleichterung von Halbleiteranwendungen, ist die Plattform nach wie vor für alle unterschiedlichen Märkte und Bedürfnisse geeignet, die Lösungen für eine höhere Dynamik erfordern; in der Tat übertrifft selbst ihre erstklassige Stellfläche, zur Minimierung der Gesamtbetriebskosten, das Wertversprechen. Kunden, die einen höheren Durchsatz, höhere Arbeitszyklen oder schwerere Nutzlasten ohne Verlust an Wiederholbarkeit oder Genauigkeit erreichen wollen, können getrost eine Standard VULCANO2 oder eine abgeleitete kundenspezifische Lösung einsetzen.

VULCANO2 stellt auch eine perfekte Lösung für alle Anwendungsfälle dar, bei denen Dynamik, Arbeitszyklen und Nutzlast nicht so streng sind, obwohl die Positioniergenauigkeit über sehr lange Zeiträume nachgewiesen werden muss: Eine mehrstündige Systemgenauigkeit auf Mikrometer-Niveau ist bei diesem neuen Angebot von ETEL kein Traum mehr, sondern eine solide Realität.

Die Nutzung dieser Plattform ist geeignet, aber nicht begrenzt für:

  • Wafer-Prozess-Kontroll Applikationen, wie z.B. Overlay Metrologie, "Critical Dimension" und Thin film Metrologie.
  • Back-end: Flip-Chip Prozesse welche auf großen Elementen/Substraten ausgeführt werden.

Besonderheiten

  • Kompakte Grundfläche
  • Nutzlast bis zu 80 kg
  • Nanometer Positionsstabilität
  • Kurze Bewegungs- und Einschwingzeiten 
  • Ausgezeichnete bidirektionale Wiederholgenauigkeit und Positionsstabilität
  • ISO 2 Reinraumkompatibilität

Hauptspezifikationen

BeschreibungX1-X2 (unten)Y (oben)Theta
Verfahrbereich365 mm355 mmInfinite
Max. Geschwindigkeit1.2 m/s1.2 m/s32 rad/s
Max. Beschleunigung25 m/s225 m/s2126 rad/s2
Positionsgenauigkeit±1 µm±1 µm±3 arcsec
Positionsstabilität±2 nm±2 nm±0.02 arcsec
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit±250 nm±250 nm±2 arcsec

Um weitere Informationen zu erhalten, fragen Sie nach der Integrationsanleitung

BeschreibungDatenblatt

Schnittstellenzeichnung

3D-Modell
VULCANO2 XY 0365 x 0355Auf Anfrage
VULCANO2 XYT 0365 x 0355Auf Anfrage