ZT 组合模块

ASME-NNNN-03-0012-0004xx-ZT COMBINED MODULE

ZT箱是一个一体化的二维模块,有Z轴和西塔轴。Z轴方向支持两种运动,即粗大位移和精细位移运动。该模块可单独使用,也可安装在XY平台顶部。该模块特别适用于圆晶生产控制应用,例如薄膜计量、关键尺寸检查等。

特点

  • 无限位转动
  • 内置圆晶夹盘级的真空功能
  • 内置重心补偿器
  • 提供真空功能,兼容ISO1超净车间
  • 圆晶装件/卸件应用的12 mm行程Z轴粗大位移以及调焦应用的4 mm行程的精细Z轴位移
  • 可提供无Z轴粗大位移版
  • 极高质量的Z轴抖动及运动和稳定性能

主要特点

描述精细Z轴粗大Z轴旋转
运动行程4 mm12 mm无穷
最高转速0.1 m/s0.02 m/s15.7 rad/s
最高加速度2 m/s21 m/s2104.7 rad/s²
位置稳定性±5 nm-±0.2 arcsec
定位精度±0.6 µm-±3 arcsec
双向重复精度±0.3 µm-±2 arcsec
最大有效负载1 kg

更多信息,参见相应集成手册

说明性能数据接口图3D模型
ZT COMBINED MODULE