ZT箱是一个一体化的二维模块,有Z轴和西塔轴。Z轴方向支持两种运动,即粗大位移和精细位移运动。该模块可单独使用,也可安装在XY平台顶部。该模块特别适用于圆晶生产控制应用,例如薄膜计量、关键尺寸检查等。
更多信息,参见相应集成手册。
本网站使用cookies。请同意使用cookies,以确保页面的正常显示和各项功能的正常工作。