Z3TM 组合模块

Z3TM模组是ETEL模块型伺服运动平台产品的新成员。该模块拥有四个各自独立的自由度,包括一个旋转轴、一个垂直轴和两个摇摆和倾斜修正轴。通过优化设计,该模块能够完全满足先进半导体晶圆制造过程中对晶圆载台运动性能的特殊需求,从而为半导体技术应用的OEM设备厂商提供了适用于任何半导体技术的交钥匙式解决方案。该模块结构紧凑,其单位体积内具有的功能特性数量,同时其性能为晶圆级生产需求的定位精度和动态特性设定了新的市场标准。

Z3TM模组的出现使OEM设备厂商从昂贵和过时的压电解决方案中解放出来,不仅消除了磁滞难题,还在提供纳米级的分辨率、定位精度和重复定位精度同时,提供了更高的动态稳定性能。
该模块提供的平面补偿功能,可以通过其附加的“摇摆”和“倾斜”轴进一步控制晶片相对于设备头的平面度。
这些独特的功能进一步提高最终用户工艺的可控性、例如平面度、标称入射角(AOI)、焦平面直线度等,所有这些都为OEM设备厂商从技术上获得晶圆级性能的无与伦比的机会。
如今,Z3TM的出现不仅为用户提高运动系统精度简化设计难度,还能显著提升设备可靠性,集成度,降低设备的复杂性和总体成本,提高性价比,并加快上市速度。

Z3TM模组是ETEL公司持续创新和产品垂直整合的最新成果,它以ETEL在电机、电子和运动控制技术领域拥有的丰富专有技术知识为基础并完美结合了HEIDENHAIN世界一流的位置测量专有技术。

特点

  •  任意旋转角度
  • ±0.08°以上的摇摆和倾斜修正,以调整水平和提高运动和稳定时间
  • 卡盘面接真空
  • 兼容ISO 2级超净车间
  • 径向跳动误差 ±3.5 µm

主要特点

描述精细Z轴摇摆/倾斜旋转
运动行程±2 mm±0.08°infinite
位置稳定性±3 nm-±0.05 arcsec
双向重复精度± 30 nm-±2 arcsec
运动和稳定时间
(100 µm, ±30 nm内)
60 ms--
运动和稳定时间
(180°, ±40 µ°内)
--525 ms

更多信息,请查看相应的“集成手册”。 

说明性能数据接口图3D模型
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