AQUARIUS ST短行程执行器

AQUARIUS ST是ETEL新一代短行程执行器,主要用于“测试和扫描式”转塔分选应用。与上一代AQUARIUS相比,ST系列短行程执行器具有更高的推力控制重复性精度和更高吞吐量,因此能降低最终设备的拥有成本。

在这种应用中,短的移动和稳定时间以及在小推力水平下保持平滑推力限制的功能是关键,现在可轻松满足这些性能要求。

ST款短行程执行器的机械系统已经过优化设计,采用全对称、均衡的结构设计,确保该执行器的长期摩擦性能保持稳定。这种设计避免了不必要的运动和稳定时间波动。AQUARIUS ST可满足更小标称力(低至0.5 N),提高推力精度,显著减小推力超调并增加加速度。

自带线缆及编码器和电源接头,可直接适配AccurET Modular 48位置控制单元。

这款短行程执行器主要应用于半导体后段“半导体器件性能测试”的转塔分选机。该执行器可显著提高半导体设备的分选工作效率,范围包括待测单元抓取、搬运、电性能测试、视觉检测、激光打标和良片摆放等等。

ST款短行程执行器不仅可以有效提升客户设备的价值,还能结合我们独特的电子系统和专用软件确保所生产芯片免受意外冲击、正确地测试和验证。

主要特点

  • 总行程:10 mm
  • 峰值推力:214 N
  • 连续推力:31.4 N
  • 最高速度至1 m/s
  • 最大加速度至40 g
  • 运动和稳定时间:2.8 mm(± 10 µm),≤ 7 ms

更多信息,参见相应集成手册

说明性能数据接口图3D模型
AQUARIUS ST