DXRH旋转轴系列

DXRH是ETEL旋转轴系列解决方案中的最新产品。这是一款单自由度、机械轴承为基础的旋转轴模组,兼有优异的精度和准确性。
集成360,000线的编码器,拥有无与伦比的机械性能完全可以比肩空气轴承解决方案,但结构更简单,DXRH的核心组件是海德汉性能卓越的编码器和轴承技术,以及无齿槽、无扭矩波动的ETEL直驱电机技术。
DXRH模块全面兼容标准的ETEL接口,该模块可独立使用,也可将其集成在ETEL的系统产品中。它还为所有基于DXRH的应用,提供了后续性能升级路径,无需重新设计,因为接口是相同的。
DXR+旋转模块可集成在CHARON2和VULCANO2堆叠平台上。它具有高刚性、高精度、高准确性、高清洁性等特点,由于采用不锈钢设计,可有效减小热变形。
尽管旋转模块主要用于半导体行业,但它同样适用于不同的应用和需要高精度和高准确性旋转解决方案的要求。
DXRH旋转模块可用于大量应用和行业,特别适用于圆晶的制程控制,例如Overlay测量、临界尺寸和薄膜测量以及光电子应用。

特点

  • 任意旋转角(Theta)
  • 集成360,000线的高分辨率编码器
  • 负载高达12.5 kg
  • 预留真空接口
  • 运动轴真空抽吸清洁功能
  • 53 mm大空心轴
  • 满足ISO 1级洁净车间要求
  • 多种可选配置,例如模块外硬限位,摇摆套件,圆晶真空,接头支架等
  • 无齿(零齿槽)电机技术实现高速度稳定性

主要特点

  • 双向重复精度:±0.25 arcsec
  • 位置精度达±3 arcsec(校准前)
  • 位置稳定性:±2.5 marcsec
  • 径向跳动:±1 µm
  • 轴向总误差:±2 µm

更多信息,参见相应集成手册

说明性能数据接口图3D模型
DXRH