DXR+旋转轴

ASME-DXR+TO1550303NAS0000-T STANDALONE AXIS

DXR+为ETEL的回转模块,结构紧凑,重量轻,配大型空心轴,用于满足半导体和电子行业的中端应用对高性价比的要求。
 

DXR+的刚性得到显著提高,对支撑回转模块的XY平台的控制带宽有直接的影响。DXR+模块使用48 VDC至300 VDC之间总线电压工作。可用AccurET 48或300模块驱动,对于更高位置稳定性要求的应用可用AccurET VHP驱动。
 

与ETEL的许多其它模块一样(ZT,Z3TH,RTTB),DXR+可安装在所有标准XY平台上。DXR+是单自由度模块,支持任意的角度运动。但可选配一定的角度运动范围,大约60°为一个单位。在一定条件下,DXR+的洁净度可从ISO 5至ISO 1。

DXR+模块是满足以下应用要求的理想选择:

  • 运动的平稳性
  • 中等精度要求(典型的跳动值大约为5 µm)
  • 位置稳定性在100 nm范围内,半径150 mm时

该模块适用于,但不限于:

  • 圆晶工序控制,圆晶切片
  • 圆晶划线
  • 激光热处理
  • 光伏电池生产

特点

  • 直径:155 mm
  • 无齿槽电机技术(零齿槽力)确保高速稳定性
  • 总高小 / 重量轻,满足高精度的应用要求
  • 高精度非接触式光学扫描编码器
  • 无限制的角度运动
  • 大型空心轴:44 mm
  • 卡盘面带真空接口
  • 符合ISO 5级超净车间要求,甚至可达ISO 1级

主要特点

  • 双向重复精度±2 arcsec,±3西格玛
  • 定位精度

可达±30 arcsec(非校准)
可达±3 arcsec,校准后

  • 最高转速400 rpm
  • 位置稳定性精度±0.2 arcsec
  • 强大的速度稳定性控制能力

更多信息,参见相应集成手册

说明性能数据接口图3D模型l
DXR+