Module combiné ZT

ASME-NNNN-03-0012-0004xx-ZT COMBINED MODULE

Le module ZT combine 2 degrés de liberté, un Z et un Theta, au sein d'un même élément. Deux mouvements sont possibles en Z: un grossier et un fin. Ce module peut être utilisé de manière autonome ou monté sur une plate-forme XY. Ce module est spécialement adapté aux applications dédiées au contrôle de processus de wafer telles que thin film metrology, critical dimensions, etc.

Caractéristiques

  • Mouvement rotatif infini
  • Dépression intégré au niveau du support du wafer
  • Compensateur de gravité intégré
  • Compatible avec les salles blanches ISO1 grâce à la dépression
  • Axe Z grossier avec une course de 12 mm pour le chargement/déchargement du wafer et un axe Z fin avec une course de 4 mm pour l'ajustement du focus
  • Version sans axe Z grossier peut être demandée
  • Excellent jitter en Z ainsi que temps de stabilisation après mouvement

Spécifications principales

DescriptionFine ZCoarse ZTheta
Course totale4 mm12 mminfini
Vitesse maximum0.1 m/s0.02 m/s15.7 rad/s
Accélération maximum2 m/s21 m/s2104.7 rad/s²
Stabilité de position±5 nm-±0.2 arcsec
Précision absolue±0.6 µm-±3 arcsec
Répétabilité bidirectionnelle±0.3 µm-±2 arcsec
Charge maximum1 kg

Demander le Manuel d'intégration pour plus d'informations.

DescriptionFiche techniqueDessin d'interfaceModèle 3D
ZT COMBINED MODULE