Module combiné ZT

ASME-NNNN-03-0012-0004xx-ZT COMBINED MODULE

Le module ZT combine 2 degrés de liberté, un Z et un Theta, au sein d'un même élément. Deux mouvements sont possibles en Z: un grossier et un fin. Ce module peut être utilisé de manière autonome ou monté sur une plateforme XY. Ce module est spécialement adapté aux applications dédiées au contrôle de processus de wafer telles que thin film metrology, critical dimensions, etc.

Caractéristiques

  • Mouvement rotatif infini
  • Dépression intégré au niveau du support du wafer
  • Compensateur de gravité intégré
  • Compatible avec les salles blanches ISO1 grâce à la dépression
  • Axe Z grossier avec une course de 12 mm pour le chargement/déchargement du wafer et un axe Z fin avec une course de 4 mm pour l'ajustement du focus
  • Version sans axe Z grossier peut être demandée
  • Excellent jitter en Z ainsi que temps de stabilisation après mouvement

Spécifications principales

DescriptionFine ZCoarse ZTheta
Course totale4 mm12 mminfini
Vitesse maximum0.1 m/s0.02 m/s15.7 rad/s
Accélération maximum2 m/s21 m/s2104.7 rad/s²
Stabilité de position±5 nm-±0.2 arcsec
Précision absolue±0.6 µm-±3 arcsec
Répétabilité bidirectionnelle±0.3 µm-±2 arcsec
Charge maximum1 kg

Demander le Manuel d'intégration pour plus d'informations.

DescriptionFiche techniqueDessin d'interfaceModèle 3D
ZT COMBINED MODULE