Module combiné Z3TM

La Z3TM élargit le portefeuille de modules au service des plate-formes de mouvement. Ce module ajoute quatre degrés de liberté indépendants, à savoir un axe rotatif, un axe vertical et deux axes obliques. De par sa conception, ce module permet la réalisation complète de profiles de mouvement de wafer pour des applications avancées du semi-conducteur, offrant ainsi aux OEM une solution clé en main pour toutes les technologies. La compacité du produit établit une densité record en terme de nombre de fonctions par volume, tandis que ses performances établissent de nouvelles normes du marché pour les précisions et la dynamique au niveau du wafer.

La Z3TM permet aux OEM la migration des solutions piézoélectriques coûteuses et obsolètes, éliminant ainsi leurs problèmes d'hystérésis tout en prenant en charge la résolution, la précision et la répétabilité de l'ordre du micron avec une dynamique encore plus élevée. Avec un support intégré pour un alignement correct des échantillons, le module permet ensuite un contrôle supplémentaire de la planéité des wafers par rapport aux têtes d'équipement, grâce à deux axes supplémentaires de Tip et de Tilt. Une telle fonctionnalité unique permet aux utilisateurs avec un niveau supérieur de contrôles du processus, par exemple la planéité, l'angle d'incidence nominal (AOI), la rectitude du plan focal et bien d'autres encore, le tout donnant lieu à une opportunité  de fournir des performances inégalées au niveau du wafer. Aujourd'hui, les intégrateurs simplifient non seulement leurs efforts de conception pour une plus grande précision, mais en plus réduisent drastiquement la complexité de la machine, les efforts d'intégration et le coût global des équipements, permettant ainsi une mise sur le marché beaucoup plus rapide à des rapports prix / performances améliorés.

La Z3TM découle de l'innovation continue et de l'intégration verticale d'ETEL, basées sur l'IP propriétaire pour les moteurs, l'électronique et le savoir-faire en matière de contrôle, et de la synergie avec HEIDENHAIN lorsqu'il s'agit des codeurs de position.

Caractéristiques

  • Rotation infinie du Theta

  • Correction du Tip-Tilt jusqu'à ±0.08° pour un aplanissement et pour une amélioration du temps de stabilisation après mouvement

  • Vacuum traversant au niveau du chuck

  • Compatibilité salle blanche ISO 2

  • Déviation radiale de ±3.5 µm

Spécifications principales

DescriptionZ finTip-TiltTheta
Course totale±2 mm±0.08°Infini
Stabilité de position±3 nm-±0.05 arcsec
Répétabilité bidirectionnelle± 30 nm-±2 arcsec
Temps de stabilisation après mouvement
(100 µm pour ±30 nm)
60 ms--
Temps de stabilisation après mouvement
(180° pour ±40 µ°)
--525 ms

Demander le Manuel d'intégration pour plus d'informations. 

DescriptionFiche techniqueDessin d'interfaceModèle 3D
MODULE COMBINÉ Z3TMSur demande