AXE ROTATIF DXR+

ASME-DXR+TO1550303NAS0000-T STANDALONE AXIS

La DXR+ est un module rotatif produit par ETEL regroupant un design compact, une faible masse ainsi qu'un large arbre creux et qui fournit un ratio performance-coût adapté aux applications du semiconducteur et de l'électronique.

La DXR+ apporte des améliorations majeures en terme de rigidité ayant un impact direct sur le contrôle de la bande passante du système XY le supportant. Le module DXR+ peut fonctionner avec une tension de bus de 48 VDC jusqu'à 300 VDC. Il peut être piloté par les AccurET 48 ou 300 ou par l'AccurET VHP pour une meilleure stabilité de postionnement.

Comme pour les autres modules standard d'ETEL (ZT, Z3TH, RTTB), la DXR+ peut être monté sur les plateformes standards XY d'ETEL. La DXR+ est un module à un degré de liberté permettant une course angulaire illimitée. Néanmoins, en option, la course peut être limitée à des  segments angulaires d'un multiple d'environ 60°. Le niveau de propreté de la DXR+ varie de ISO 5 à ISO 1 sous certaines conditions spécifiques.

Le module DXR+ fournit une solution parfaite pour répondre à toutes les applications nécessitant:

  • une régularité de mouvement
  • exigences de précision moyenne (typiquement autour de 5 µm)
  • stabilité de position dans une plage de 100 nm à un rayon de 150 mm

L'utilisation de ce module est adapté, mais non limité à:

  • wafer process control, wafer dicing
  • wafer scribing
  • laser annealing
  • solar cell manufacturing
  • etc

Caractéristiques

  • Diamètre: 155 mm
  • Technologie de moteur sans dent (pas d'effet réluctant) pour une grande stabilité de vitesse
  • Faible encombrement / faible masse pour les applications de haute précision
  • Codeur optique (sans contact) de haute précision
  • Possiblités de courses angulaires illimitées
  • Large arbre creux: 44 mm
  • Vaccum disponible au niveau du chuck
  • Compatible salle blanche ISO 5; possibilité d'atteindre la classe ISO 1

Spécifications principales

  • Répétabilité bidirectionnelle ±2 arcsec à ±3 sigma
  • Précision absolue
    - ±30 arcsec (sans calibration)
    - Maximum ±2 arcsec après calibration
  • Vitesse jusqu'à 400 tr/min
  • Stabilité de position ±0.2 arcsec
  • Grande stabilité de vitesse

Demander le Manuel d'intégration pour plus d'informations.

DescriptionFiche
technique
Dessin
d'interface
Modèle
3D
DXR+