Plataforma apilada CHARON2


CHARON2 es un nuevo sistema apilado XY orientado a semiconductor, compatible hacia atrás con los módulos y opciones existentes. El diseño CHARON2 extiende el uso de CHARON hacia los casos de mayores dinámicas y cargas, con mejoras en precisión y repetibilidad. Superando aceleraciones de 1 g y velocidades de 1 m/s con el doble de carga, a la vez que proporcionando una precisión de posicionamiento por debajo de 1 µm, CHARON2 representa la solución de movimiento llave en mano para aplicaciones de semiconductor e iniciativas de extensión de tiempo de vida de vanguardia.

CHARON2 representa otro ejemplo perfecto de integración vertical de ETEL, basado en sus propios  diseños de motor, tecnología electrónica y de control, y sinergia con HEIDENHAIN en cuanto a sistemas de medición de posición de liderazgo mundial. El resultado es una amplia familia de soluciones que cumplen las necesidades de posicionamiento de obleas de cualquier constructor, bien de proceso o de control de proceso, y desde un núcleo XY hasta un sistema completo de hasta 9 ejes controlados independientemente.

CHARON2 surge de los requisitos de constructor anticipados y alineados, satisfechos inmediatamente con un nuevo producto optimizado, reduciendo costes de ingeniería, fabricación y comercialización.

Características

  • Recorrido total: hasta 650 mm x 410 mm
  • Compatible sala limpia ISO 2

Especificaciones

DescripciónX (inferior)Y (superior)Theta
Precisión de posicionamiento±1 µm±1 µm±3 arcsec
Estabilidad de posicionamiento±2 nm±2 nm±0.02 arcsec
Repetibilidad bidireccional±0.4 µm±0.4 µm±2 arcsec
Carga máxima30 kg

Solicitar el Manual de integración correspondiente para más información.

DescripciónHoja de datosPlano dimensionalModelo 3D
CHARON2 XY 0475 x 0410Bajo pedido
CHARON2 XYT (DXR+) 0475 x 0410 Bajo pedido