Módulo combinado ZT

ASME-NNNN-03-0012-0004xx-ZT COMBINED MODULE

La caja ZT es un módulo con dos grados de libertad, en Z y Theta, en una sola unidad. Hay dos actuaciones posibles sobre la dirección Z, una amplia y una fina. Se puede utilizar de forma separada o montada sobre una plataforma XY. Este módulo es especialmente apropiado para aplicaciones de control de proceso de obleas tales como metrología de capa fina, dimensiones críticas, etc.

Características

  • Giro infinito
  • Suministro de vacío integrado a nivel de mordaza
  • Compensador de gravedad integrado
  • Compatible con salas limpias ISO1 gracias a succión por vacío
  • Eje Z con amplio recorrido de 12 mm para carga/descarga y recorrido fino de 4 mm para ajuste de foco
  • Versión sin Z amplio posible
  • Muy buen jitter Z, así como desplazamiento y fijación de posición

Especificaciones

DescripciónZ finoZ amplioTheta
Recorrido4 mm12 mmInfinito
Velocidad máxima0.1 m/s0.02 m/s15.7 rad/s
Aceleración máxima2 m/s21 m/s2104.7 rad/s²
Estabilidad de posición±5 nm-±0.2 arcsec
Precisión de posición±0.6 µm-±3 arcsec
Repetitividad bidireccional±0.3 µm-±2 arcsec
Carga máxima1 kg

Solicite el Manual de Integración correspondiente para más información.

DescripciónHoja de datosPlano dimensionalModelo 3D 
ZT COMBINED MODULE