EJES ROTATIVOS DXR+

ASME-DXR+TO1550303NAS0000-T STANDALONE AXIS

El DXR+ es un módulo rotativo que presenta un diseño compacto, ligero, un amplio eje hueco, y que ofrece el ratio de coste a prestaciones apropiado para apliciaciones de gama media en semiconductor y electrónica.

El DXR+ aporta importantes mejoras en términos de rigidez que tienen un impacto directo en el ancho de banda de regulación de la etapa XY que lo soporta. Puede operarse con tensiones de bus de 48 VDC hasta 300 VDC. Puede regularse con un AccurET modular 48 o 300, o por un AccurET VHP para requerimientos de mayor estabilidad de posición.

Al igual que el resto de módulos estándar de ETEL (ZT, Z3TH, RTTB), el DXR+ puede montarse sobre cualquier plataforma XY estándar. El DXR+ es un módulo de un grado de libertad que permite un desplazamiento angular ilimitado. Como opción, el recorrido puede limitarse a segmentos angulares aproximadamente múltiplos de 60°. El nivel de limpieza de un DXR+ va desde ISO 5 hasta ISO 1 bajo condiciones específicas.

El módulo DXR+ proporciona una solución adecuada para hacer frente a cualquier aplicación que requiera:

  • Suavidad de movimiento
  • Estabilidad de posición en rangos de 100 nm en radios de 150 mm

El uso de este módulo es adecuado para, entre otras aplicaciones:

  • control de proceso de obleas, corte de obleas
  • trazado de obleas
  • recocido por láser
  • fabricación de células fotovoltaicas
  • etc.

Características

  • Diámetro: 155 mm
  • Tecnología de motor sin dientes (sin "cogging") para alta estabilidad de velocidad
  • Perfil / masa reducidos para aplicaciones de alta precisión
  • Encoder óptico sin contacto de alta precisión
  • Posibilidades de recorrido angular ilimitadas
  • Amplio eje hueco: 44 mm
  • Suministro de vacío en el porta-herramientas
  • Compatibilidad con sala limpia ISO clase 5, con posibilidad de alcanzar ISO clase 1

Especificaciones

  • Repetitividad bidireccional ±2 arcsec a ±3sigma
  • Precisión de posición
    - hasta ±30 arcsec (sin calibración)
    - hasta ±3 arcsec tras calibración
  • Velocidad hasta 400 rpm
  • Estabilidad de posición ±0,2 arcsec
  • Capacidad de alta estabilidad de velocidad

Solictiar el Manual de Integración correspondiente para más información.

DescripciónHoja de datosPlano dimensionalModelo 3D
DXR+