Hochpräzise Linearachse

Die TBS ist eine hochpräzise Linearachse mit einem Freiheitsgrad. Dies ist eine auf mechanischer Lagerung basierende, indirekt angetriebene Linearachse, welche  hervorragende  Eigenschaften im Bezug auf Genauigkeit und Präzision in ihrer Kategorie bietet.  Die Achse wird von einem leistungsstarken Servomotor mit  geringem Rastmoment angesteuert und verwendet ein Regelschema mit  zweifacher Geberrückführung, welches, bei hervorragendem Leistungsverhalten, auch die Inbetriebnahme vereinfacht. Ergänzend zu der hochentwickelten indirekten Antriebssteueurng, die das Herzstück der HEIDENHAIN Gruppe Messgeräte Technologien darstellt, verfügt die Achse über unübertroffene mechanische Eigenschaften über den gesamten Hub, welche für Macro- und Microbewegungen geeignet sind. 

Diese Achse umfasst auch spezifische Konstruktionsmerkmale und Optionen wie z.B. thermische Entkopplung von Wärmequellen, hohe Steifigkeit und einen mikrometrischen Festanschlag, was sie besonders interessant macht für Anwendungen, die Prozessstabilität und Sicherheit erfordern.

Mit dem Schwerpunkt Halbleiteranwendungen zu vereinfachen, bleibt die Achse  weiterhin für alle unterschiedlichen Märkte und Anforderungen geeignet, welche Lösungen für hohe Präzision, hohe Reinheit,  hohe Stabilität und hohe Genauigkeit fordern. Die Verwendung dieses Moduls ist geeignet für, aber nicht beschränkt auf: Anwendungen der Wafer-Prozesskontrolle wie Überlagerungsmetrologie, kritische Abmessung und Dünnschicht-Metrologie sowie Photonik.

Eigenschaften

  • Gesamter Hub: 50 mm
  • Maximale Nutzlast: 45 kg
  • Indirekter Antrieb - hochpräsizer Kugelgewindetrieb
  • Zweifache Geberrückführung
  • Reinraum Kompatibilität : ISO2 (ISO1 optional)
  • Verfügbare Optionen wie mikrometrischer Festanschlag

Main specifications

  • Bidirektionale Wiederholbarkeit: ± 0,3 µm
  • Geradheit der Mikrobewegung von ± 50 nm
  • Positionsstabilität: ± 10 nm
  • Geschwindigkeit bis zu 0,03 m/s
  • Beschleunigung bis zu 0,5 g

Für mehr Informationen fragen Sie nach dem entsprechenden Integrationshandbuch.

BeschreibungDatenblatt
Modular / VHP
Schnittstellenzeichnung3D-Modell
TBS / Auf Anfrage