ZT Kombiniertes Modul

ASME-NNNN-03-0012-0004xx-ZT COMBINED MODULE

Die ZT Box ist ein Modul, das zwei Freiheitsgrade in Z und Theta, innerhalb einer einzelnen Einheit kombinitert. Es sind zwei Antriebe möglich entlang der Z Richting, ein Grober und ein Genauer. Dieses Modul kann im Standalone-Modus oder oben auf der XY Plattform angebracht, verwendet werden. Dieses Modul ist besonders geeignet für Wafer Kontrollprozesse wie z.B. Dünnschicht-Messtechnik, kritische Maße, etc. 

Eigenschaften

  • Endlose Drehbewegung 
  • Eingebaute Vakuumversorgung bis zur Ebene der Wafer-Aufnahmevorrichtung 
  • Eingebauter Gewichtskraft-Ausgleich
  • ISO1 Reinraum kompatibel dank Vakuumabsaugung 
  • Grobe Z Achse mit 12 mm Hub für Wafer Laden/Entladen und genaue Z Achse mit 4 mm Hub zur Fokuseinstellung 
  • Version ohne grobe Z Achse möglich 
  • Sehr kleiner Z Jitter sowie gutes Bewegungs- und Einschwingverhalten

Hauptspezifikationen

BeschreibungGenaue ZGrobe ZTheta
Verfahrbereich 4 mm12 mmUnendlich
Max. Geschwindigkeit0.1 m/s0.02 m/s15.7 rad/s
Max. Beschleunigung2 m/s21 m/s2104.7 rad/s²
Positionsstabilität±5 nm-±0.2 arcsec
Positionsgenauigkeit±0.6 µm-±3 arcsec
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit ±0.3 µm-±2 arcsec
Max. Nutzlast 1 kg

Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.

BeschreibungDatenblattSchnittstellenzeichnung3D-Modell
ZT COMBINED MODULE