ROTAČNÍ OSY DXR+

ASME-DXR+TO1550303NAS0000-T STANDALONE AXIS

DXR+ je rotační modul společnosti ETEL, který se vyznačuje kompaktní konstrukcí, nízkou hmotností, velkým dutým hřídelem, a který nabízí správný poměr cena-výkon pro středně náročné aplikace v oblasti polovodičů a elektroniky.DXR+ přináší důležitá zdokonalení z hlediska tuhosti, která má přímý vliv na šířku pásma řízení platformy XY, kterou podporuje. Modul DXR+ lze provozovat v rozsahu napětí sběrnice od 48 VDC až do 300 VDC. Může být buzen řídicí jednotkou AccurET Modular 48 nebo 300, nebo AccurET VHP pro požadavky lepší polohové stability. Podobně jako jiné standardní moduly společnosti ETEL (ZT, Z3TH, RTTB), může být modul DXR+ montován na libovolné standardní platformy XY. DXR+ je modul s jedním stupněm volnosti, umožňující neomezenou úhlovou dráhu. Nicméně jako opci lze dráhu omezit na úhlové segmenty, které jsou násobkem přibližně 60°. Úroveň čistoty modulu DXR+ se pohybuje v rozsahu ISO 5 až po ISO 1 za specifických podmínek.

Modul DXR+ je správným řešením pro aplikace vyžadující:

  • Plynulost pohybu
  • Požadavky přesnosti střední úrovně (typické házení kolem 5 µm)
  • Stabilita polohy v rozsahu 100 nm při poloměru 150 mm

Modul je vhodný k použití v následujících aplikacích, ale nejen tam:

  • procesní kontrola substrátových disků, dělení substrátových disků
  • rýhování substrátových disků
  • laserové žíhání
  • výroba solárních článků
  • atd.

Charakteristiky

  • Průměr: 155 mm
  • Technologie bezkartáčového motoru (nulová pulzace) pro vysokou stabilitu otáček
  • Nízký profil / nízká hmotnost pro vysoce přesné aplikace
  • Vysoce přesný bezkontaktní optický snímač
  • Možnosti neomezené úhlové dráhy
  • Velký dutý hřídel: 44 mm
  • Dodávka podtlaku na úrovni sklíčidla
  • Kompatibilní s čistotou prostředí ISO 5; možnost dosažení ISO 1

Hlavní specifikace

  • Oboustranná opakovatelnost: ±2 úhlové vteřiny při ±3 sigma
  • Polohová přesnost
    - až do ±30 úhlových vteřin (bez kalibrace)
    - až do ±3 úhlových vteřin po kalibraci
  • Otáčky až 400 ot/min
  • Stabilita polohy: ±0,2 úhlových vteřin
  • Stabilita vysokých otáček

Další informace viz odpovídající integrační příručka.

PopisDatový listVýkres rozhraní3D model
DXR+