Kombinovaný modul ZT

ASME-NNNN-03-0012-0004xx-ZT COMBINED MODULE

ZT box je modul, který kombinuje dva stupně volnosti (v Z a Theta) v jediné jednotce. Ve směru osy Z jsou možné dva způsoby ovládání - hrubé a jemné. Tento modul lze používat v samostatném režimu, nebo instalovaný na vrchu platformy XY. Modul je zvláště vhodný při řízení výroby substrátových disků v aplikacích, jako jsou kritické rozměry a metrologie tenkých vrstev atd.

Charakteristiky

  • Neomezená rotace
  • Vestavěný generátor podtlaku na úrovni držáku substrátového disku
  • Vestavěný gravitační kompenzátor
  • Kompatibilita s čistým provozem ISO 1 díky podtlakovému sání
  • Hrubá osa Z se zdvihem 12 mm pro zakládání a vyjímání substrátových disků a jemná osa Z se zdvihem 4 mm pro zaostření
  • Dodat lze verzi bez hrubé osy Z
  • Velmi dobrý jitter v ose Z, jakož i pohyb a vyrovnání

Hlavní Specifikace

PopisJemná osa ZHrubá osa Z Theta
Rozsah pojezdů4 mm12 mminfinite
Maximální rychlost0.1 m/s0.02 m/s15.7 rad/s
Maximální zrychlení2 m/s21 m/s2104.7 rad/s²
Stabilita polohy±5 nm-±0.2 arcsec
Polohová přesnost±0.6 µm-±3 arcsec
Obousměrná opakovatelnost±0.3 µm-±2 arcsec
Maximální užitečné zatížení1 kg

Další informace viz odpovídající integrační příručka.

PopisDatový listVýkres rozhraní3D model
ZT COMBINED MODULE