Rovinné platforma METIS

ASAI-YGNN-06-0320-0320xx-XYZT PLANAR PLATFORM

Tato platforma METIS je hybridní rovinná platforma s mechanickým/vzduchovým uložením, určená pro krokové a snímací aplikace. Je to 6osá platforma, pohyblivá ve směrech X, Z, Z a Theta. Klíčovými parametry jsou dynamická rovinnost po celé dráze, jakož i obousměrná opakovatelnost. Tato platforma se v současnosti používá:

  • V aplikacích řízení procesu substrátových disků, jako je kritický rozměr a metrologie tenkých vrstev.
  • Rýhování substrátových disků
  • Laserové žíhání substrátových disků

Může být také použit v litografických strojích BEOL (vyrovnávače masky) a v některých aplikacích dělení substrátových disků.

Vlastnosti této platformy:

  • Rovinnost pohybu daná vzduchovým uložením
  • Neomezená rotace v Theta
  • Integrace Double Z: Hrubý posuv pro zakládání/vyjímání a jemný posuv pro nastavení ohniska
  • Vestavěný gravitační kompenzátor v ose Z (přihlášeno k patentování)
  • Korekci stáčení lze provést mírným posunem motorů Y1 a Y2
  • Lze dále integrovat se systémem Active Isolation System, plně řízeným jednotkou ETEL
  • Dráhy ve směru X a Y lze prodloužit s některými omezeními výkonu

Hlavní Specifikace

PopisY1,Y2XJemná osa ZHrubá osa Z Theta
Rozsah pojezdů320 mm320 mm4 mm12 mminfinite 
Maximální rychlost1.2 m/s1.2 m/s0.1 m/s0.02 m/s15.7 rad/s
Maximální zrychlení12 m/s212 m/s22 m/s21 m/s2104.7 rad/s2
Stabilita polohy±25 nm±25 nm±15 nm-±0.2 arcsec
Obousměrná opakovatelnost±0.4 µm±0.4 µm±0.3 µm-±2 arcsec
Maximální užitečné zatížení1 kg

Další informace viz odpovídající integrační příručka.

PopisDatový listVýkres rozhraní3D model
METISNa vyžádánít