Stupněný (stacked) platformy VULCANO

   

VULCANO XY je stanice sestávající ze tří komponentů zaměřených na kompaktní  a hospodárné řešení, s mechanickým uložením a optickými snímači polohy. 

V základně spodních os (Y1 & Y2) jsou vestavěny lineární motory s ocelovým jádrem v paralelním uspořádání a řízené v režimu gantry, pokud je použito řízení AccurET, dosahuje celek lepší opakovatelnosti a optimální provozní účinnosti. Vrchní  osa (X) je konstruována jako jeden lineární motor. Použití technologie s ocelovým jádrem nabízí vyšší tažnou sílu, využitelnou k dosažení vyšší dynamiky a rychlosti, protože provozní teplota je poměrně nízká.

Základna horní osy (X), která je současně nosičem pohyblivé části motoru  (Y1 & Y2) je vyrobena ze slitiny hliníku z důvodu optimalizace hmotnosti a dynamiky. Teplotní roztažnost pohlcují kompenzační elementy.

Na spodní základové desce jsou uložena 3 kluzná vedení. Dvě vnějsí lineární vedení základové desky VULCANO jsou opatřena kuličkovým uložením, zatímco centrální vedení je konstruováno  jako válečkové vedení. Vedení jsou mechanicky spojena pružnými elementy. Některé z těchto elementů spojené s vozíky vnejšího vedení , ketré umožňují translaci ve směru osy X . Další. které jsou spřaženy s centrálním vedením dovolují rotaci kolem svislé osy. Ve vrchní ose (X) jsou vestavěna dvě lineární ložiska. Vzájemné oddělení zajišťuje další sada pružných elementů, umožňující translaci v ose Y je dnom ze dvou vedení.

VULCANO XYT základem je standartní platforma VULCANO XY doplněná nástavbou modulu rotačního stolu RTTB s vestavěným úhlovým snímačem vysokým rozlišením a speciálními mechanickými ložisky.

VULCANO XYZ3TH vychází z platformy VULCANO XY doplněné kombinovaným modulem Z3TH. Tyto  4 stupně volnosti , umožňují rotaci 364° , dvojitou osu Z, jednu pro proces nakládání a další jemnou nastavení zaostření, stejne jako pro korekci krokování a naklápění v rozsahu  ±0.1°.

Využití této platformy je zaměřeno na:

  • Využití je zaměřeno na stroje pro výrobu polovodičových součástek, wafer-steppery, overlay-metrologii a metrologii tenkých filmů T
  • nebo pro méně náročné aplikace flip-chip technologie montáže čipů na substrát

Charakteristiky

  • Kompaktní provedení
  • Stabilita polohování v nanometrech
  • Krátký rozsah pojezdů a rychlé odezvy 
  • Vysoká dynamika
  • Vysoká opakovatelnost v obou směrech
  • Vysoká polohová stabilita
  • ISO třída čistoty prostředí 1

Pro více informací si vyžádejte návod k instalaci.

Hlavní specifikace

PopisY1-Y2 (spodní základna)X (horní základna)Theta
Rozsah pojezdů490 mm420 mm367°
Maximální rychlost1.5 m/s1.5 m/s6.28 rad/s
Maximální zrychlení25 m/s225 m/s2169 rad/s2
Stabilita polohy±0.6 nm±0.7 nm±0.0025 arcsec
Obousměrná opakovatelnost ±0.35 µm±0.35 µm±0.010 µm
Pohyb a krátký čas odezvy
(25 mm v rozsahu ±100 nm)
140 ms140 ms-
Maximální užitečné zatížení                            2 kg
PopisDatový listVýkres rozhraní3D model
VULCANO XY 0365 x 0355Na vyžádání
VULCANO XY 0490 x 0420Na vyžádání
VULCANO XYT 0365 x 0355Na vyžádání
VULCANO XYT 0490 x 0420Na vyžádání
VULCANO XYZ3TH 0365 x 0355Na vyžádání
VULCANO XYZ3TH 0490 x 0420Na vyžádání