Sistema Plataforma VULCANO

 

El sistema VULCANO XY es un diseño de tres piezas que permite una solución compacta y diseñada en coste, unido a rodamientos mecánicos y sistemas de medida lineales de altas prestaciones.

La base de los ejes inferiores (Y1 e Y2) se compone de 2 motores lineales con núcleo férrico, en gantry, que junto a los controladores AccurET, permiten mejor repetitividad y una eficiencia óptima. El eje superior (X) se compone de un motor lineal de núcleo férrico. El uso de motores con núcleo férrico ofrece una alta densidad de fuerza para imprimir altas aceleraciones y velocidades, a la vez que manteniedo una baja temperatura de trabajo.

La base del eje superior (X), que incorpora los motores de los ejes inferiores (Y1 e Y2) es de aluminio para optimizar masa y dinámica. La expansión térmica se gestiona con elementos flexibles.

Hay 3 guías lineales en la base inferior. Las dos guías externas son guías de bolas recirculantes mientras que la interior (en el medio de la base) es una guía de rodillos recirculantes. El acoplamiento entre guías es mediante elementos flexibles. Algunos de éstos se montan sobre los bloques de las guías exteriores y permiten la traslación en la dirección X. Otros se montan sobre el rail central y permiten la rotación sobre el eje vertical. El eje superior (X) integra 2 rodamientos lineales. Es acoplamiento es mediante un nuevo conjunto de elementos flexibles que permiten la traslación en la dirección Y para uno de los raíles.

La plataforma VULCANO XYT se compone del sistema estándar VULCANO XY equipado con el módulo rotativo RTTB que incluye un encoder de alta resolución montado sobre un excepcional rodamiento mecánico.

La plataforma VULCANO XYZ3TH se compone del sistema estándar VULCANO XY equipado con el módulo combinado Z3TH. El Z3TH, con 4 grados de libertad, proporciona 364° de rotación Theta, ejes Z dobles,  amplio para carga-descarga de oblea y fino para enfoque, así como una corrección Tip-Tilt de  ±0.1°.

El uso de esta plataforma es apropiado, entre otros, para:

  • Aplicaciones de Control de Proceso de Obleas tales como Metrología de Recubrimiento de Capa, Dimensiones Críticas y Metrología de Lámina Delgada
  • Back-end: procesos de flip-chip específicos sobre grandes paneles/sustratos

Características

  • Diseño compacto
  • Estabilidad de posición nanométrica
  • Tiempos de desplazamiento y estabilización cortos
  • Alta dinámica
  • Alta repetitividad bidireccional
  • Alta estabilidad de posición
  • Compatibilidad con sala limpia ISO class 1

Pida el Manual de Integración correspondiente para más información.

Especificaciones

DescripciónY1-Y2 (inferior)X (superior)Theta
Recorrido490 mm420 mm367°
Velocidad máxima1.5 m/s1.5 m/s6.28 rad/s
Aceleración máxima25 m/s225 m/s2169 rad/s2
Estabilidad de posición±0.6 nm±0.7 nm±0.0025 arcsec
Repetitividad bidireccional±0.35 µm±0.35 µm±0.010 µm
Tiempo de despl. y estabiliz
(25 µm en ±100 nm)
140 ms140 ms-
Carga máxima2 kg
DescripciónHoja de datosPlano dimensionalModelo 3D
VULCANO XY 0365 x 0355Bajo pedido
VULCANO XY 0490 x 0420Bajo pedido
VULCANO XYT 0365 x 0355Bajo pedido
VULCANO XYT 0490 x 0420Bajo pedido

VULCANO XYZ3TH 0365 x 0355

Bajo pedido

VULCANO XYZ3TH 0490 x 0420

Bajo pedido