VULCANO堆叠系统/平台

 

VULCANO XY系统为三件结构的紧凑型及经济型解决方案,带机械轴承和高端光学编码器。

下端轴(Y1和Y2)的底板含2个铁心直线电机,采用关联轴模式控制,配AccurET控制单元使用时能提高重复精度和达到最佳控制效率。上端轴(X)含一个铁心直线电机。铁心技术的应用能提高推力密度,达到更高加速度和更高转速,同时保持极低的工作温度。

上端轴(X)的底板还用于固定下端轴(Y1和Y2)的电机,该底板采用铝材制造,确保重量轻和高动态性能。热膨胀由挠性元件吸收。

底板上共配3条直线导轨。VULCANO的底板上的两条外侧导轨由循环滚珠轴承支撑,而一条内侧导轨(位于底板的中间位置)由循环滚柱轴承支撑。三条导轨之间用挠性元件隔离。部分挠性元件固定在外侧导轨的轴承座上,允许X轴方向运动。其它固定在中心导轨上的挠性元件可围绕垂直方向转动。上端轴(X)带2条直线导轨。它通过另一组挠性元件隔离,允许其中一个导轨在Y轴方向运动。

VULCANO XYT平台包括标准的VULCANO XY平台,并增加了RTTB旋转模块,该旋转模块带高分辨率编码器,编码器安装在高性能机械轴承处。

VULCANO XYZ3TH平台包括标准的VULCANO XY平台并增加了Z3TH复合模块。该模块有4个自由度,提供364°旋转角,双Z轴,其中一个用于圆晶装件与卸件的粗大调整和另一个用于聚焦的精细调整,超过±0.1°的摇摆和倾斜修正。

该平台适用于但不限于:

  • 圆晶生产控制应用,例如叠片测量,关键尺寸和薄膜测量
  • 后段:特定大型面板/基体上的倒晶封装

特点

  • 结构紧凑
  • 纳米级位置稳定性
  • 超短的运动和稳定时间
  • 高动态性能
  • 高双向重复精度
  • 高位置稳定性
  • 兼容ISO 1级超净车间

更多信息,参见相应的集成手册

主要特点

描述Y1-Y2(下端)X(上端)旋转
行程范围490 mm420 mm367°
最高速度1.5 m/s1.5 m/s6.28 rad/s
最高加速度25 m/s225 m/s2169 rad/s2
位置稳定性±0.6 nm±0.7 nm±0.0025 arcsec
双向重复精度±0.35 µm±0.35 µm±0.010 µm
运动和稳定时间
(25 mm,±100 nm内)
140 ms140 ms-
最大有效负载2 kg
说明性能数据接口图3D模型
VULCANO XY 0365 x 0355请索取
VULCANO XY 0490 x 0420请索取
VULCANO XYT 0365 x 0355请索取
VULCANO XYT 0490 x 0420请索取
VULCANO XYZ3TH 0365 x 0355请索取
VULCANO XYZ3TH 0490 x 0420请索取