主动避振系统

全新避振解决方案

QuiET主动避振系统有效消除地面振动和运动系统反作用力的影响且在6个自由度(6 DOF)上保持有效,此模块可避免在运动平台的上表面进行的操作被扰动。

半导体行业的大多数高端应用需要使用十分复杂的设备并用一定方式连接运动平台的花岗岩。因此,花岗岩的任何振动都将在工艺层面导致更大的误差和消耗更长的稳定时间。ETEL的这套解决方案可高效避免这些振动的发生!

崭新的运动性能!

QuiET系列产品将ETEL新一代一体化战略再向前推进一步。从现在起,ETEL的先进运动平台不仅包括先进的运动系统及相应的先进运动控制单元,还包括ETEL特有的主动避振模块。因此,ETEL成为可提供如此丰富产品的极少数运动系统供应商之一!

在1 Gb TransnET基础上,ETEL特有的低噪音传感器和完整全数字系统及确定性的运动控制系统,可最大限度缩短运动时间和稳定时间。在全部运动轴的位置和加速度信号基础上,计算运动平台的全部反作用力,并将计算结果提供给控制单元,对这些力进行补偿。前馈精度高达99%以上,花岗岩中残留的反作用力小于1%!因此,主动避振系统的花岗岩质量可较轻,整机尺寸和质量也可较小和较轻,整个工艺效果可受益于更安静更平稳的工作环境。

模块式、可扩展及易于保养

QuiET系列产品专为模块化和可扩展性而设计。ETEL提供一系列预选的有源和无源器件,因此能快速组建满足您要求的最佳解决方案!弹性元件、劳伦兹执行器以及Etel特有的传感器都集成在一个综合性的架构中,它允许个性化配置以满足任何系统要求并提高现场的易维护性。QuiET模块的控制单元以及运动平台的控制单元都是标准的AccurET控制单元,且安装在同一个安装轨或同一个电气柜内。

 

 

调试工具

用户友好的图形界面。兼容任何类型工作台的配置,并包括:

  • 前馈参数的自动调试
  • 系统标识
  • 内置滤波功能