主动避振系统

全新避振解决方案

QuiET主动避振系统是一款全新避振系统,它能消除运动平台上工作扰动导致的工作台和地面在6个自由度方向上的振动。

大多数半导体行业的高端应用设备都十分复杂,需要用一定方式连接运动平台的大理石。

因此,大理石的任何振动都将在工艺层面导致更大的误差和消耗更长的稳定时间。ETEL避振解决方案让高效避振从此垂手可得!

崭新的运动性能!

QuiET系列产品进一步完善ETEL的新一代一体化战略。从现在起,ETEL的先进运动平台不仅包括先进的运动系统及相应的先进运动控制单元,还包括ETEL特有的主动避振模块。ETEL因此成为能提供如此宽广产品的唯一运动系统供应商!

ETEL特有的建立在1 Gb TransnET之上的低噪音传感器和全数字化系统及确定性的运动控制系统能最大限度加快运动速度并缩短稳定时间。得益于加速度前馈精度高达99%,运动平台产生的振动对大理石的影响不足1%!因此,主动避振系统上的大理石质量可较轻,整机尺寸和质量也能较小和较轻,整个工艺效果将受益于更安静更平稳的工作环境。

模块式、可扩展及易于保养

QuiET系列产品专为模块化和可扩展性而设计。ETEL提供一系列预选的有源和无源器件,因此能快速组建满足您要求的最佳解决方案!弹性元件、劳伦兹执行器以及Etel特有的传感器都集成在一个综合性的架构中,它允许个性化配置以满足任何系统要求并提高现场的易维护性。QuiET模块的控制单元以及运动平台的控制单元都是标准的AccurET控制单元,且安装在同一个安装轨或同一个电气柜内。

 

 

调试工具

用户友好的图形界面。兼容任何类型工作台的配置,并包括:

  • 前馈参数的自动调试
  • 系统标识
  • 内置滤波功能