METIS二维平台

ASAI-YGNN-06-0320-0320xx-XYZT PLANAR PLATFORM

METIS平台是一个二维机械/空气轴承综合平台,专用于步进与扫描应用。该平台在X轴,Y轴,Z轴和西塔轴方向有6个自由度。整个行程范围的动态平面度及双向重复精度是关键参数。该平台现在用于:

  • 圆晶工序控制,例如关键尺寸与薄膜计量。
  • 圆晶划线
  • 圆晶激光退火

也可用于线条光刻机的后端(曝光机)及部分圆晶切片应用。

该平台特点:

  • 空气轴承支承,运动平稳
  • T轴任意转动
  • 集成双Z轴:装件/卸件粗大运动以及对焦的精细运动
  • 内置Z轴重量补偿器(专利申请中)
  • 轻微平移Y1及Y2电机能修正偏向
  • 可进一步集成ETEL完全控制的主动避振系统
  • 如轻微牺牲性能,可加大X轴与Y轴行程

主要特点

描述Y1,Y2X精细Z轴粗大Z轴旋转
运动行程320 mm320 mm4 mm12 mm无穷
最高转速1.2 m/s1.2 m/s0.1 m/s0.02 m/s15.7 rad/s
最高加速度12 m/s212 m/s22 m/s21 m/s2104.7 rad/s2
位置稳定性±25 nm±25 nm±15 nm-±0.2 arcsec
双向重复精度±0.4 µm±0.4 µm±0.3 µm-±2 arcsec
最大有效负载1 kg

更多信息,参见相应集成手册

说明性能数据接口图3D模型
METIS请索取