Plataforma planare METIS

ASAI-YGNN-06-0320-0320xx-XYZT PLANAR PLATFORM

Esta plataforma, METIS, es una plataforma planar híbrida con rodamientos mecánicos/neumáticos dedicada a aplicaciones de paso y escaneado. Se trata de una plataforma de 6 ejes moviéndose en las direcciones de X, Y, Z y Theta. Parámetros clave son una planitud dinámica a lo largo de todo el recorrido, así como una repetitividad bidireccional. Esta plataforma se utiliza actualmente en:

  • Control de proceso de oblea (wafer), tales como Dimensión Crítica y Metrología de Capa Fina.
  • Marcado de la oblea
  • Recocido térmico por laser de la oblea

También puede ser usada en el back-end de líneas de máquinas litográficas (alineadoras de máscaras) y en algunas aplicaciones de corte de la oblea (dicing).

Esta plataforma tiene las siguientes prestaciones:

  • Planitud de movimiento dada por los rodamientos de aire
  • Rotación ilimitada en Theta
  • Doble integración en Z: Desplazamiento basto para carga/descarga, y fino para ajuste del foco
  • Compensador de gravedad en Z integrado (pendiente de patente)
  • La corrección de guiñada puede realizarse desviando ligeramente los motores Y1 e Y2
  • Puede ser integrada adicionalmente con un sistema de aislamiento activo totalmente controlado por ETEL
  • Los recorridos en X e Y pueden ser prolongados con algunas limitaciones de prestaciones

Especificaciones

DescripciónY1,Y2XZ finoZ amplioTheta
Recorrido320 mm320 mm4 mm12 mmInfinito
Velocidad máxima1.2 m/s1.2 m/s0.1 m/s0.02 m/s15.7 rad/s
Aceleración máxima12 m/s212 m/s22 m/s21 m/s2104.7 rad/s2
Estabilidad de posición±25 nm±25 nm±15 nm-±0.2 arcsec
Repetitividad bidireccional±0.4 µm±0.4 µm±0.3 µm-±2 arcsec
Carga máxima1 kg

Solicite el Manual de Integración correspondiente para más información.

DescripciónHoja de datosPlano dimensionalModelo 3D
METISBajo petición