堆叠系统/平台

堆叠系统是完整、独立的系统,它提供工程系统所需的运动能力,满足特定行业要求。以半导体应用为核心,ETEL设计开发了多种不同类型的标准工作台,每种工作台提供特定的解决方案,满足不同应用对生产和检测设备的运动要求。选配模块及功能允许系统集成商在众多系统架构、工作性能和支持体系中按需进行选择。 

以堆叠架构为基础的产品都具有高可靠性和设计紧凑的特点,都提供适用于特定应用的高效解决方案并满足灵活定制的要求。这些工作台包括单个机械轴承版或多个机械轴承版;满足现代半导体生产对工作性能的最苛刻要求。用户可按照灵活性和性能升级的要求从该产品线众多模块和选配中选择。

CHARON2

VULCANO