Z3TH 组合模块

ASME-NNNN-06-0015-0004xx-Z3TH COMBINED MODULE

Z3TH复合模块将安装在现有XY平台顶部的模块范围扩大。Z3TH模块拥有4个自由度,提供364°的旋转角,双Z轴,其中一个用于圆晶装件与卸件的粗大调整,一个用于调焦的精密调整,以及0.1°以上的摇摆和倾斜修正。该Z3TH模块是取代压电式Z轴执行器的理想选择,它能消除开环控制的粘滞和非线性,同时为运动提供更优的跟随误差控制性能,其重复精度、运动和稳定时间性能均支持更大行程运动。

Z3TH模块主要用于前段应用,是以下应用的理想解决方案:

  • 对正加工刀与基体
  • 平面度绘图
  • 提升运动性能和稳定时间性能

第一个应用是光刻后段和圆晶生产控制。

特点

  • 364°旋转角
  • ±0.1°以上的摇摆和倾斜修正,以调整水平和提高运动和稳定时间
  • 卡盘面接真空
  • 双Z轴:装件/卸件的粗大调整和聚焦的精细调整
  • 兼容ISO 1级超净车间
  • 极小轴向和径向跳动,仅±1 µm

更多信息,请查看相应的“集成手册”。

主要特点

描述精细Z轴摇摆/倾斜粗大Z轴旋转
运动行程±2 mm±0.1°16 mm364°
最高转速---10 rad/s
最高加速度---55 rad/s2
位置稳定性±1.9 nm±0.0043 arcsec-±0.0038 arcsec
双向重复精度±0.010 µm--±0.35 arcsec

运动和稳定时间
(100 µm,±30 nm内)

45 ms---
运动和稳定时间
(180°,±20 µ°内)
   525 ms
最大有效负载2 kg
说明性能数据接口图3D模型
Z3TH COMBINED MODULE