Module combiné Z3TH

ASME-NNNN-06-0015-0004xx-Z3TH COMBINED MODULE

Le module combiné Z3TH élargit la gamme de modules qui peut être fixé sur les systèmes XY existants. Le Z3TH, module à 4 degrés de libérté, fournit une rotation Theta de 364°, un double axe Z (un grossier pour le chargement/déchargement du wafer et un fin pour le réglage de la mise au point) mais également une correction Tip-Tilt jusqu'à ±0.1°. Ce module Z3TH est une excellente alternative au piezo basé sur un actuateur d'axe Z, en éliminant ainsi l'hystérésis et la non-linéarité d'une boucle ouverte tout en offrant un meilleur suivi des erreurs pendant le mouvement, une meilleure répétabilité et de meilleures performances de temps de stabilisation sur de plus longues courses.

Le module Z3TH est principalement dédié aux applications front-end et fournit une solution adaptée faisant ainsi face à toutes les applications demandant:

  • Alignement entre un outil de traitement et un substrat
  • Cartographie de la planéité
  • Amélioration du temps de stabilisation

Les premières applications sont liées à la lithographie back-end et au processus de contrôle du wafer.

Caractéristiques

  • Rotation du Theta de 364°
  • Correction du Tip-Tilt jusqu'à ±0.1° pour un aplanissement et pour une amélioration du temps de stabilisation après mouvement
  • Vacuum traversant au niveau du chuck
  • Intégration du double Z: une course grossière pour le chargement/déchargement et une course précise pour le réglage de la mise au point
  • Compatibilité salle blanche ISO1
  • Faible déviation axiale et radiale de ±1 µm

Demander le Manuel d'intégration pour plus d'informations.

Spécifications principales

DescriptionFine ZTip-TiltCoarse ZTheta
Course totale±2 mm±0.1°16 mm364°
Vitesse maximum---10 rad/s
Accélération maximum---55 rad/s2
Stabilité de position±1.9 nm±0.0043 arcsec-±0.0038 arcsec
Répétabilité bidirectionnelle±0.010 µm--±0.35 arcsec
Temps de stabilisation après mouvement
(100 µm pour ±30 nm)
45 ms---
Temps de stabilisation après mouvement
(180° pour ±20 µ°)
   525 ms
Charge maximum2 kg
DescriptionFiche techniqueDessin d'interfaceModèle 3D
Z3TH COMBINED MODULE