Z3TH Kombiniertes Modul

ASME-NNNN-06-0015-0004xx-Z3TH COMBINED MODULE

Das Z3TH kombinierte Modul erweitert die Modulmöglichkeiten, welche oben auf bestehenden XY Plattformen sitzen können. Das Z3TH Modul, mit 4 Freiheitsgraden, ermöglicht eine 364° Theta Drehbewegung, doppelte Z-Achsen, eine Grobe für Waferbe- und Entladung und eine Genaue für Fokuseinstellung, sowie eine Kipp- und Neige-Korrektur von ±0,1°. Dieses Z3TH Modul ist eine gute Alternative zu Piezo basierenden Z Aktuatoren in dem es Hystereseeffekte und Nicht-Linearitäten im offenen Regelkreis beseitigt, während es einen besseren Schleppfehler in der Bewegung, sowie Wiederholgenauigkeit und ein verbesssertes Bewegungs- und Einschwingverhalten über einen noch längeren Verfahrweg bietet. 

Das Z3TH Modul ist in erster Linie für Applikationen im Bereich Front-End geeignet und bietet die richtige Lösung um alle Applikationen zu bewältigen, die folgendes erfordern:

  • Ausrichtung zwischen einem Prozesswerkzeug und dem Substrat 
  • Erfassung / Korrektur der Ebenheit
  • Verbesserung des Bewegungs- und Einschwingverhaltens

Bereits bestehende Applikationen sind dem Bereich der Back-End Lithographie und Wafer Prozessüberwachung zuzuordnen. 

Eigenschaften

  • 364° Theta Drehbewegung
  • Kipp- und Neige-Korrektur von ±0.1° zur Nivellierung und für die Verbesserung des Bewegungs- und Einschwingverhaltens 
  • Vakuumdurchführung bis zur Aufnahmevorrichtung 
  • Doppelte Z Integration: Grobe Achse für Be- und Entladung und genaue Achse zur Fokuseinstellung 
  • ISO Klasse 1, Reinraumkompatibilität 
  • Geringer Rund- und Planlauffehler von ±1 µm

Um weitere Informationen zu erhalten, fragen Sie nach der Integrationsanleitung.

Hauptspezifikationen

BeschreibungGenaue ZKippen-NeigenGrobe ZTheta
Verfahrbereich ±2 mm±0.1°16 mm364°
Max. Geschwindigkeit --10 rad/s
Max. Beschleunigung ---55 rad/s2
Positionsstabilität±1.9 nm±0.0043 arcsec-±0.0038 arcsec
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit ±0.010 µm--±0.35 arcsec
Bewegungs- und Einschwingzeit
(100 µm innerhalb ±30 nm)
45 ms---
Bewegungs- und Einschwingzeit
(180° innerhalb ±20 µ°)
   525 ms
Max. Nutzlast 2 kg
BeschreibungDatenblattSchnittstellenzeichnung3D-Modell
Z3TH COMBINED MODULE