Système d'isolation actif

Une nouvelle solution pour isoler les vibrations

Le système d'isolation actif, appelé QuiET, est un nouveau module supprimant les vibrations provenant aussi bien du sol que du système lui-même, et ceci dans les 6 degrés de liberté. Cela permet ainsi d'éviter de perturber le processus en cours sur le système proprement dit.

La plupart du temps, les applications haut-niveau dans le domaine du semi-conducteur intègrent un équipement complexe, qui d'une manière ou d'une autre, est relié au granite du système. En tant que tel, chaque vibration au niveau du granite engendre des imprécisions et un temps de stabilisation rallongé au niveau de l'outil du processus. Grâce à la solution d'ETEL, se débarrasser de ces perturbations n'a jamais été aussi efficace!

Repousser les limites de la performance!

La famille QuiET repousse encore un peu plus loin la stratégie d'ETEL du "Forward integration". Dès à présent, les plateformes high-tech d'ETEL incluent non seulement un système de positionnement haut de gamme et des contrôleurs de mouvement/position associés, mais bénéficient également de son module d'isolation actif exclusif. Tout ceci fait d'ETEL le seul fournisseur de solution de positionnement couvrant un si large éventail de possibilités!

Grâce à un capteur propriétaire à faible bruit et une architecture de commande du mouvement homogène, entièrement numérique et basé sur un bus de communication 1 Gb (TransnET), ETEL a réduit les temps de mouvements et de stabilisation à des valeurs sans précédent. Avec une précision de régulation de l'accélération par anticipation supérieure à 99%, moins de 1% de l'énergie produite par un mouvement du système de positionnement reste au niveau de granite! La masse du granite sur le système d'isolation actif peut donc être maintenue à un faible niveau, ce qui réduit l'encombrement et de la masse globale, tandis que les outils de traitement bénéficient directement d'un environnement plus calme.

Modulaire, évolutive et pratique

La famille QuiET a été conçue pour être modulaire et évolutive. Grâce à une liste de composants actifs et passifs rigoureusement sélectionnés, ETEL peut trouver très rapidement la solution optimisée couvrant vos besoins! Des ressorts, des actionneurs de Lorentz ainsi que des capteurs propriétaires sont intégrés dans une architecture en sandwich qui est ensuite personnalisée pour satisfaire toutes les exigences du système et rendre plus facile l'entretien sur le terrain. Les contrôleurs du module QuiET et ceux de la plateforme de mouvement sont tous des contrôleurs AccurET standard et peuvent être intégrés dans la même armoire électrique.

Outil de mise en service

Une interface graphique conviviale est disponible. Elle est compatible avec tout type de configuration système et comprend:

  • Réglage automatique des paramètres de régulation
  • Identification du système
  • Outil de mise à niveau intégré