Sistema de aislamiento activo

Una nueva solución para el aislamiento de vibraciones

El Sistema de Aislamiento Activo QuiET es un nuevo módulo que cancela las vibraciones tanto de la plataforma como del suelo en 6 Grados de Libertad (6 GL), evitando que perturben el proceso que tiene lugar encima de su plataforma de movimiento.

La mayoría de las veces, las aplicaciones de alta gama en la industria del semiconductor incorporan configuraciones de equipos complejos que, de un modo u otro, están conectados al granito de la plataforma de movimiento.

Por definición, cualquier vibración en el lado del granito se traduce en imprecisiones y tiempos de fijación de posición más largos en el lado de la herramienta del proceso. Gracias a la solución de ETEL, librarse de esas vibraciones ¡nunca se ha hecho con tanta eficacia!

¡Llevando las prestaciones de movimiento al siguiente nivel!

La Serie QuiET lleva un paso más allá la estrategia de Integración hacia delante de ETEL. A partir de ahora, una plataforma de movimiento avanzada de ETEL no solo incluye el sistema de movimiento y sus controladores de vanguardia asociados, sino que puede beneficiarse también de su exclusivo módulo aislamiento activo. ¡Esto convierte a ETEL en el único Proveedor de Sistemas de Movimiento del mundo ofreciendo tan amplio alcance de suministro!

Gracias a su exclusivo sensor de bajo ruido y a su homogénea, totalmente digital y determinística arquitectura de control de movimiento basada en TransnET 1 Gb, ETEL reduce el movimiento y tiempo de fijación de posición a valores sin precedentes. Con una precisión de prealimentación de aceleración alcanzando más del 99%, ¡menos del 1% de la energía generada por el movimiento de la plataforma permanece en el lado del granito! La masa del granito en el sistema de aislamiento activo puede por tanto mantenerse pequeña, lo que a su vez reduce el tamaño y masa total, mientras que los útiles de proceso se benefician directamente de un entorno con menor vibración.

Modular, escalable y utilizable

La Serie QuiET se ha diseñado para ser altamente modular y escalable. Gracias a un listado de componentes activos y pasivos preseleccionados, ¡ETEL puede encontrar rápidamente la solución óptima que se acomode a sus necesidades! Los elementos de resorte, actuadores de Lorentz y los sensores exclusivos se insertan dentro de una arquitectura de sándwich que se personaliza entonces para cubrir cualquier requerimiento del sistema y facilita su servicio una vez instalados. Los controladores del módulo QuiET y los de la plataforma de movimiento son todos controladores AccurET estándar y pueden colocarse en el mismo rack o armario eléctrico.

Herramienta de puesta en marcha

Se dispone de un intuitivo interfaz gráfico de usuario. Admite cualquier tipo de configuración de plataforma e incluye:

  • Ajuste automático de los parámetros de prealimentación
  • Identificación del sistema
  • Capacidades de nivelación integradas