La mayoría de las veces, las aplicaciones de alta gama en la industria del semiconductor incorporan configuraciones de equipos complejos que, de un modo u otro, están conectados al granito de la plataforma de movimiento.
Por definición, cualquier vibración en el lado del granito se traduce en imprecisiones y tiempos de fijación de posición más largos en el lado de la herramienta del proceso. Gracias a la solución de ETEL, la prevención de esas vibraciones nunca se ha realizado de forma tan eficaz.
