Kombinovaný modul Z3TH

ASME-NNNN-06-0015-0004xx-Z3TH COMBINED MODULE

Z3TH kombinované moduly představují rozšíření aplikačních možností modulů, které se montují na základní platformu křížových stolů XY. Z3TH,  4 stupně volnosti, umožňuje rotaci Theta 364° T, dvojitou osu Z, jednu hrubší pro nakládání waferu a druhou jemnou pro nastavení zaostření, stejně tak jako korekci krokování a naklápění v rozsahu  ±0.1°.  Z3TH modul je vhodnou alternativou k Z piezo aktuátorům, eliminující hysterezi a nelinearitu otevřené vazby, protože zajišťuje nižší vlečnou chybu během pohybu, opakovatelnost plynulosti pohybu na dlouhých přejezdech.

Z3TH modul je primárně určen pro špičkové aplikace a přináší správné řešení  tam, kde je cílem:

  • přesná vzájemná poloha mezi nástrojem a substrátem
  • mapování tlouštky nebo zvlnění 
  • zlepšení rovnoměrnosti pohybu a vyrovnání

První aplikace přinesla nasazení v litografii a řízení pracovního procesu waferu.

Charakteristiky

  • 364° Theta rotace
  • Korekce krokování a naklápění  ±0.1° zlepšení rovnoměrnosti pohybu a vyrovnání
  • Vakuový posuv čelistí
  • Zdvojená osa Z: hrubý posuv pro nakládání a odkládání a jemný posuv pro nastavení zaostření
  • ISO třída čistoty prostředí 1
  • Nízká radialní a axiální vůle of ±1 µm

Pro více informací si vyžádejte návod k instalaci.

Hlavní specifikace

PopisJemná osa ZKrokování-naklápěníHrubá osa Z Theta
Rozsah pojezdů±2 mm±0.1°16 mm364°
Maximální rychlost---10 rad/s
Maximální zrychlení---55 rad/s2
Stabilita polohy±1.9 nm±0.0043 arcsec-±0.0038 arcsec
Obousměrná opakovatelnost±0.010 µm--±0.35 arcsec
Pohyb a vyrovnání
(100 µm v rozsahu ±30 nm)
45 ms---
Pohyb a vyrovnání
(180° v rozsahu ±20 µ°)
   525 ms
Maximální užitečné zatížení2 kg
PopisDatový listVýkres rozhraní3D model
Z3TH COMBINED MODULE