Systém aktivní izolace

Nové řešení izolace vibrací

Systém aktivní izolace QuiET je nový modul, který potlačuje jak vibrace konstrukce, tak vibrace podloží v 6 stupních volnosti (6 DOF), což zamezuje poruchám v procesu probíhajícím na pohybové platformě.

Špičkové aplikace v polovodičovém průmyslu většinu času provádějí nastavení složitého zařízení, které je nějakým způsobem vázáno s žulovou základnou pohybové platformy.

Jakékoli vibrace žulové základny se projevují nepřesnostmi a delšími časy ustálení na nástrojové úrovni. Díky řešení společnosti ETEL je nyní odstranění těchto vibrací snazší a účinnější než kdykoli předtím!

Posunutí pohybových možností na vyšší úroveň!

Systém QuiET Series posouvá strategii Forward Integration Strategy společnosti ETEL na vyšší úroveň. Vyspělé pohybové platformy společnosti ETEL od nynějška disponují nejenom vyspělým pohybovým systémem s příslušnými nejmodernějšími řídicími jednotkami, ale také přednostmi patentovaného modulu aktivní izolace. Společnost ETEL je proto jediným dodavatelem pohybových systémů na světě s tak rozsáhlou nabídkou!

Díky patentovaným nízkošumovým snímačům a homogenní, plně digitální architektuře řízení pohybu na základě technologie 1 Gb TransnET, zkracuje ETEL dobu pohybu a ustálení na nevídané hodnoty. S přesností dopředné akcelerace vyšší než 99% zůstane v žulové základně méně než 1% energie vygenerované pohybovým systémem. Hmotnost žulové základny systému aktivní izolace proto může být nízká, což zpětně snižuje celkové rozměry a hmotnost, zatímco zpracovatelské nástroje mají přímý prospěch z tiššího prostředí.

Modulární, přizpůsobitelný a servisovatelný

Konstrukčně je systém QuiET Series plně modulární a vysoce přizpůsobitelný. Díky široké škále předvolených aktivních a pasivních prvků může společnost ETEL velice rychle nalézt optimalizované řešení odpovídající vašim požadavkům. Architekturu sendvičově uspořádaných pružinových prvků, aktuátorů s využitím Lorenzovy síly a patentovaných snímačů lze přizpůsobit libovolným požadavkům systému; snadná je také servisovatelnost v terénu. Řídicí jednotky modulu QuiET a pohybové platformy jsou standardní kontroléry AccurET, které mohou být umístěné ve stejném rámu elektrického rozváděče.

Nástroj pro uvedení do provozu

K dispozici je uživatelsky přátelské grafické rozhraní. Je kompatibilní se všemi typy konfigurace pohybového systému a obsahuje:

  • Automatickou optimalizaci parametrů dopředného pohybu 
  • Identifikaci systému
  • Vestavěné nivelační funkce