高精度直线轴

TBS是高精度的单自由度直线轴。这款直线轴采用机械式轴承间接驱动,在同类产品中提供出类拔萃的精准性和精确性。此直线轴由高性能、小齿槽的伺服电机驱动,采用双编码器的反馈控制模式,不仅性能卓越,而且调试简单。先进的间接驱动控制以海德汉集团的编码器技术为核心,这款直线轴还为宏动和微动运动在全行程上提供卓越的机械性能。

该直线轴还具有独特的设计特性和选配功能,例如隔热功能、高刚性和微米级的硬限位功能,可充分满足应用对制程可靠和安全的严格要求。 

该产品主要应用于半导体行业,也能满足众多不同行业的需求,满足对高精准度、高洁净度、高稳定性和高精确度的解决方案。
该产品适用但不限于以下应用:圆晶工艺控制应用,例如Overlay测量,关键尺寸和薄膜测量及光电应用。

特点

  •  总行程:50 mm
  • 最大有效负载:45 kg
  • 间接驱动 - 高精度滚珠丝杠
  • 双编码器反馈
  • 洁净车间兼容性:ISO2(可选ISO1)
  • 选配,例如微米级硬限位。

主要技术参数

  •  双向重复精度:± 0.3 µm

  • 微动直线度± 50 nm

  • 位置稳定性:± 10 nm

  • 速度达0.03 m/s

  • 加速度达0.5

 

更多信息,参见相应的集成手册

说明性能数据
Modular / VHP
接口图3D模型
TBS / 根据需要