TELICA双龙门运动系统

TELICA是多轴运动平台,主要用于半导体后段应用。双龙门架构提供4个自由度,可沿X轴、Y轴、Z轴和Rz轴运动,共8个可控轴。该平台充分满足先进固晶制程(倒晶封装、扇出、混合键合、2.5D/3D封装)、µ-LED固晶、点胶等苛刻应用的要求。

在传统运动系统架构设计中,仅针对高精定位或高吞吐量优化系统。而TELICA采用创新的运动系统架构,同时满足全局贴片精度±1 µm(盲动)和标准±350 nm局部精度要求,且典型倒晶封装应用的吞吐量可达10 kUPH。在典型µ-LED固晶制程应用中,可达180 kUPH。

晶体管密度和能源效率在显著提高,I/O数量正在成为圆晶上晶粒制造的限制性因素。半导体行业正在探索不同的解决方案,应对焊盘和间距尺寸不断减小的挑战,以增加I/O数量。例如,在后段制程中,现在混合键合允许芯粒上的焊盘相互间直接互连,并正在成为一项关键技术,进一步提高设备性能且不继续减小节点尺寸。TELICA架构结合视觉系统可最大限度减少盲动需求,事实证明可在2 kUPH吞吐量情况下满足混合键合±100 nm局部精度的要求。

TELICA配单龙门臂或可同时工作的双龙门臂。两个标准版本:版本1适用于圆晶级封装(WLP),行程为X410 x Y445 x Z30 mm,版本2为面板级封装(PLP),行程为X750 x Y800 x Z30 mm。

TELICA采用全新计量技术,显著减少阿贝误差和加工刀与基体间的相对定位误差。多维编码器确保贴片达到高精度,而水冷铁芯电机允许极高的负荷周期。

结合ETEL先进的AccurET控制单元,TELICA平台提供多个特色控制功能:例如零稳定时间、非线性控制、先进的前馈和轨迹过滤器、纳秒级抖动控制的全部轴完全同步、特有的同步轴控制算法、多维度mapping、基于实时map位的先进触发能力、先进的控制优化软件诊断工具和系统频谱分析工具。

主要技术参数

  • 在10 kUPH吞吐量情况下达到±350 nm的局部贴片精度(局部找正运动)
  • 在 2 kUPH吞吐量情况下达到±100 nm的局部贴片精度(局部找正运动)
  • ±1 µm全局贴片精度(盲动)
  • <10分钟的热瞬态(从冷态到热态工作)
  • 典型倒晶固晶应用的吞吐量达10 kUPH
  • 混合键合应用的吞吐量达2 kUPH
  • µ-LED固晶的吞吐量达180 kUPH
  • X轴加速度达4 g,Y轴达6 g和Z轴达7.5 g
  • X轴和Y轴运动速度达2 m/s和Z轴达1 m/s
  • 满足ISO 5级洁净车间要求

更多信息,参见相应集成手册

说明性能数据接口图3D模型
TELICA版本1(圆晶级封装)请索取
TELICA版本2(面板级封装)请索取​​​​​​​请索取​​​​​​​