Le TBS est un axe linéaire de haute précision à 1 degré de liberté, à entraînement indirect et basé sur des roulements à billes offrant des performances exceptionnelles en terme de précision (dans sa catégorie). L'axe est contrôlé par un servomoteur haute performance à faible cogging et utilise un schéma de contrôle à double encodeur, qui, tout en fournissant d'excellentes performances, simplifie également sa mise en service. En complément de la commande d'entraînement indirecte avancée, servie en son cœur par les technologies de codeurs du groupe HEIDENHAIN, l'axe présente des caractéristiques mécaniques inégalées sur toute la course, caractérisées par des mouvements macro et micro.
Cet axe comprend également des caractéristiques de conception spécifiques et des options telles que le découplage thermique des sources de chaleur, une rigidité élevée et une butée micrométrique qui le rendent particulièrement intéressant pour les applications nécessitant la stabilité et la sécurité des processus.
Développé pour faciliter des applications dans le domaine des semi-conducteurs, cet axe répond à tous les marchés et besoins divers qui exigent des solutions de haute précision, de grande propreté et de grande stabilité.
L'utilisation de ce module est adaptée (mais pas seulement) pour les applications de contrôle du processus des wafers telles que Overlay Metrology, Critical Dimension et Thin film Metrology ainsi que la photonique.
Caractéristiques
- Course totale : 50 mm
- Charge utile maximale : 45 kg
- Entraînement indirect - vis à billes de haute précision
- Double retour codeur
- Compatibilité salle blanche : ISO2 (ISO1 en option)
- Butée micrométrique en option.
