Dank eines patentrechtlich geschützten, geräuscharmen Sensors und einer gleichartigen, vollständig digitalen und deterministischen Steuerungsarchitektur, basierend auf 1 Gb TransnET, reduziert ETEL Bewegungs- und Einschwingzeiten bis zu beisspiellosen Werten. Alle durch den Bewegungstisch erzeugten Reaktionskräfte werden auf der Grundlage der Positions- und Beschleunigungssignale aller Bewegungsachsen berechnet und den Reglern so zur Verfügung gestellt, dass diese Kräfte kompensiert werden. Mit einer Vorsteuerungsgenauigkeit von mehr als 99 %, verbleiben weniger als 1 % dieser Kräfte auf Granitniveau! Die Granitmasse auf dem aktiven Isolationssystem kann daher klein gehalten werden, was wiederum die gesamte Anlage und die Masse reduziert, während die Prozesswerkzeuge direkt von einer ruhigeren Umgebung profitieren.
